導入
| 三フッ化窒素 | |||
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| 一般的な | |||
| IUPAC名 | |||
| 同義語 | トリフルオロアミン | ||
| CAS番号 | 7783-54-2 | ||
| No.EINECS | 232-007-1 | ||
| 笑顔 | |||
| インチチ | |||
| 外観 | 無色の気体で、特有の臭気があります。 | ||
| 化学的性質 | |||
| 生のフォーミュラ | F3NNC3 | ||
| モル質量 | 71.0019 ± 0.0002 g・mol -1 | ||
| 双極子モーメント | 0.235 ± 0.004D | ||
| 物理的性質 | |||
| 融解温度 | -208.5 °C | ||
| 沸騰温度 | -129.1 °C (144.05K) | ||
| 溶解性 | 水中：ゼロ | ||
| 密度 | 3.003kg・m -3 1,540kg・m -3 | ||
| 熱化学 | |||
| ΔH° | 11.56 kJ mol -1 ( 1 atm 、 -128.75 °C ) | ||
| 電子物性 | |||
| 1次イオン化エネルギー | 13.00 ± 0.02 eV (ガス) | ||
| 予防 | |||
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| Rフレーズ： 8、20 、 | |||
| Sフレーズ： 9、17、23 、 | |||
三フッ化窒素は、化学式 NF 3の無機化合物です。この窒素とフッ素の化合物は、無色、有毒、無臭、不燃性のガスです。マイクロエレクトロニクスにおける化学エッチング剤としての使用が増えています。
アプリケーション
三フッ化窒素はシリコンウェーハの反応性イオンエッチングに使用されます。 NF 3はその場で窒素とフッ素に分解され、得られたフッ素ラジカルはシリコンを攻撃する洗浄剤として機能します。窒化ケイ素、ケイ化タングステン、化学気相成長法で製造されたタングステンにも使用できます。これらすべての用途において、NF 3 は、ヘキサフルオロエタン(C 2 F 6 ) や六フッ化硫黄(SF 6 ) などのパーフルオロカーボンのより環境保護的な代替品として 2000 年頃に選択されました。 PFC の約 3 分の 2 は大気中に逃亡しました。 NF 3 が空気中に逃げる可能性ははるかに低いと考えられていました。
三フッ化窒素は、2 種類のガスレーザーである水素レーザーとフッ化重水素レーザーにも使用されます。取り扱いが容易で、かなり安定しているため、ガス状二フッ素よりも好まれます。
スチールやモネルのほか、いくつかのプラスチックにも使用できます。
温室効果ガス
NF 3 は、京都議定書で規制されている温室効果ガスの 1 つではありません。
NF 3 は高い地球温暖化係数を持っていますが (1世紀にわたって CO 2の 17,200 倍と推定され、この基準では SF 6に次いで 2 番目に位置します。)、地球の大気中での放射力は非常に弱いと推定されています。非常に少量しか放出されないため、0.001 Wm -2で、2008 年には大気中のこのガスの総含有量は 5,400 トンと推定され (年間約 11 パーセント増加)、大気中の最大濃度は評価されたとおり、体積で 0.16兆分の 1 (ppt) 未満です。改良されたサンプリング技術を使用した 2008 年の研究では、惑星の対流圏の平均濃度は、乾燥空気のモル分率あたり 0.454 兆分の 1 (ppt) であることが判明しました。大気中での滞留期間は 740 年と推定されていますが、最近の研究ではその期間がわずかに短い 550 年であることが示唆されています (それに対応する GWP はCO2の 16,800 倍です )。
NF 3を使用する産業用途では、NF 3 が分解されますが、規制されている化合物 SF 6および PFC は一般に大気中に放出されます。