| 六フッ化タングステン | |||
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| 一般的な | |||
| IUPAC名 | |||
| CAS番号 | 7783-82-6 | ||
| No.EINECS | 232-029-1 | ||
| 外観 | 無色の気体 17 ℃以下の淡黄色の液体 2 ℃以下で白色結晶 | ||
| 化学的性質 | |||
| 生のフォーミュラ | F6W | ||
| モル質量 | 297.83 ± 0.01 g・mol -1 | ||
| 物理的性質 | |||
| 融解温度 | 2.3 ℃ | ||
| 沸騰温度 | 17.1 ℃ | ||
| 溶解性 | 水中で分解する | ||
| 密度 | 3,430kg・l -1 (液体、 17.1 ℃ ) | ||
| 飽和蒸気圧 | 1.132バール（ 20 ℃） 30 °Cで1.6バール | ||
| 予防 | |||
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| Rフレーズ： 26、35 、 | |||
| Sフレーズ： 9、26、36 / 37/ 39、45、 | |||
| 生態毒性学 | |||
| CL | 1350mg/m3 (マウス、吸入) | ||
六フッ化タングステンは、化学式 WF 6の無機化合物です。この六フッ化物は、温度と圧力の自然条件、つまり1気圧の圧力下、室温では無色の気体です。密度は約 10.3 (空気と比較) で、通常の状態でも既知のガスの中で最も重いものの 1 つです。たとえば、空気よりも 11 倍重いです。
WF 6は、特定の電子回路の製造に最もよく使用され、より正確には、金属タングステンまたはタングステンシリサイドの層を製造する目的で化学蒸着プロセス中に使用されます。この低抵抗率層により相互接続が可能になります。